走進(jìn)企業(yè)智能控制中心。人民網(wǎng)記者 張雋攝

在晶瑞（湖北）微電子材料有限公司的生產(chǎn)廠區(qū)，一輛輛裝載電子級雙氧水的罐車正整裝待發(fā)。這些看似普通的液體，實則是芯片制造不可或缺的“血液”，承擔(dān)著晶圓表面清洗、雜質(zhì)去除等關(guān)鍵使命，是芯片制造的幕后“超級清潔工”。

“生產(chǎn)一瓶符合芯片制造要求的超凈高純雙氧水，難度堪比在針尖上跳舞?！痹摴究偨?jīng)理沈健用這個比喻道出了技術(shù)難度。傳統(tǒng)雙氧水生產(chǎn)工藝無法滿足芯片制造對純度G5的苛刻要求。面對這一難題，該公司創(chuàng)新采用多孔樹脂吸附技術(shù)?！斑@就好比給雙氧水準(zhǔn)備了一塊神奇的‘凈化海綿’，再搭配七級純化工藝，雜質(zhì)在這樣層層遞進(jìn)的凈化過程中被逐一去除，從而讓雙氧水達(dá)到芯片生產(chǎn)所需的超高純度標(biāo)準(zhǔn)。”

走進(jìn)企業(yè)智能控制中心，大屏幕上跳動的數(shù)據(jù)揭示著生產(chǎn)的奧秘?！斑@套‘智慧中樞’可厲害了，產(chǎn)品的穩(wěn)定性都靠它了?！鄙蚪≈钢聊幌蛴浾呓榻B，它通過數(shù)百個傳感器實時監(jiān)測生產(chǎn)數(shù)據(jù)，一旦有機物或離子濃度出現(xiàn)波動，系統(tǒng)會自動調(diào)整流速、修正參數(shù)，讓產(chǎn)能提升的同時保證產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

目前，晶瑞的電子級雙氧水年產(chǎn)可達(dá)10萬噸，已占據(jù)國內(nèi)50%的市場份額。

實驗室工程師正在做分析檢測。人民網(wǎng)記者 王郭驥攝

“芯”火燎原。在潛江，除了晶瑞的電子級雙氧水，中巨芯的電子級硫酸、達(dá)諾爾的電子級異丙醇同樣表現(xiàn)卓越，不僅完成了G5品質(zhì)的穩(wěn)定量產(chǎn)，更是實現(xiàn)了G5pro、G6品質(zhì)的定制，讓高端芯片生產(chǎn)用上了國產(chǎn)“純凈水”，打破了國外在相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)壟斷。

當(dāng)前，在潛江，微電子材料產(chǎn)業(yè)“磁吸效應(yīng)”顯現(xiàn)，北旭電子、鼎龍控股、孚諾林、中巨芯、達(dá)諾爾等一批微電子材料企業(yè)加速集聚。它們的產(chǎn)品覆蓋濕電子化學(xué)品、光刻膠材料等關(guān)鍵領(lǐng)域，與京東方、華星光電、天馬微電子等行業(yè)巨頭形成配套產(chǎn)業(yè)鏈，填補了湖北省在高端電子化學(xué)品領(lǐng)域的空白。（周雯、張雋、張沛、王郭驥）

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